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應(yīng)用領(lǐng)域：

1、襯底清洗；

2、激光解鍵合；

3、薄膜選擇性去除；

4、掩模板清洗；

5、柔性電路板加工；

6、玻璃表面微結(jié)構(gòu)；

7、芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗

8、各種焊接處焊后激光清洗；

9、材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術(shù)特點(diǎn)：

1、Duv準(zhǔn)分子激光器，短脈寬，高峰值功率；

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天；

3、激光器壽命 >20億次脈沖；

4、多種光路方案，可定制；

5、反射/透射照明；

6、X，Y位移臺(tái)安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動(dòng)，1μm分辨率；

7、電動(dòng)焦點(diǎn)控制（沿Z軸）；

8、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識(shí)別軟件可選；

9、快速響應(yīng)時(shí)間，易于操作的軟件；

10、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得；

光束傳播特點(diǎn)：

1、能量控制 10-80%； 

2、投影縮倍4x-20x ，可定制；

3、工作距離>25mm；

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；

5、同軸顯微成像；

6、光斑勻化系統(tǒng)；

軟件功能：

1、圖形化加工路徑顯示；

2、晶圓自動(dòng)聚焦、自動(dòng)對(duì)位；

3、大視野晶圓導(dǎo)航圖；

4、激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試；

5、加工進(jìn)程控制、中斷自動(dòng)恢復(fù)；

6、芯片參數(shù)導(dǎo)入；

7、壞點(diǎn)剔除功能；

光路勻化介紹：微透鏡陣列勻光成像示意圖

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖 

晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得

加工代碼、路線、導(dǎo)航界面

Mlase準(zhǔn)分子激光器

采用德國Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源，能量輸出穩(wěn)定，光束質(zhì)量好，有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護(hù)設(shè)計(jì)，使用簡(jiǎn)便、安全、穩(wěn)定、高效。

參數(shù)：