Ex-Power是新一代準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)。采用了高穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器作為光源，通過精密的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計，在光束傳導(dǎo)過程中，對激光光斑進(jìn)行整形和勻化，并通過專用的投影物鏡，將激光均勻照射在材料表面。該系統(tǒng)具備結(jié)構(gòu)緊湊、光斑勻化效果好、傳輸效率高、能量密度大等優(yōu)勢。將紫外準(zhǔn)分子激光技術(shù)和高精度的機械運動系統(tǒng)相結(jié)合，大大提高了激光剝離的質(zhì)量和效率，非常適合工藝研發(fā)和批量工業(yè)生產(chǎn)。
技術(shù)特點：
1、193/248/308nm 激光器，短脈寬，高峰值功率；
2、靜態(tài)氣體壽命 >30 天；
3、激光器壽命 >5億次脈沖；
4、最高能量密度10J/cm2；
5、多種光路方案，可定制；
6、同軸機器視覺示意圖，所見即所得，反射/透射同軸照明；
7、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動，±1mm精度；
8、電動焦點控制（沿 Z 軸）；
9、配有同軸和離軸相機，模式識別軟件可選；
10、功能全面，易于操作的專用加工軟件；
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、LED 藍(lán)寶石襯底剝離；
2、薄膜選擇性去除；
3、柔性屏與玻璃基板剝離；
4、微流控；
5、柔性電路板加工；
6、玻璃表面微結(jié)構(gòu)；
7、MiniLED剝離；
8、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移；
9、激光修復(fù)；
10、晶圓與載體激光解鍵合；
光束傳播特點：
1、能量控制范圍 10-80% ；
2、縮倍比 4x-20x ；
3、焦距 25mm~150mm；
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；
Gan 外延片剝離藍(lán)寶石基板掃描電鏡分析
準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖
光路結(jié)構(gòu)示意圖
加工監(jiān)控界面-所見即所得
加工控制界面-參數(shù)可調(diào)
COMPex 準(zhǔn)分子激光器
COMPex準(zhǔn)分子激光器是一種高效的光源，設(shè)計緊湊，易于安裝和操作。在要求很高的應(yīng)用中提供了優(yōu)越的結(jié)果，如脈沖激光沉積 (PLD)、晶片剝離、激光剝離技術(shù) (LLO)、固體采樣 (LA-ICP-MS)、線剝離和 FBG 寫入。具有陶瓷預(yù)電離，COMPex提供數(shù)百毫焦耳輸出，加上無與倫比的脈沖穩(wěn)定性。COMPex還配備了一個改進(jìn)的氣體處理器，延長了氣體和光學(xué)的使用壽命。
參數(shù)： |
波長：193nm / 248nm / 308nm |
脈沖寬度：5-20ns |
單次剝離尺寸：< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm線光斑 |
光學(xué)分辨率：1μm |
最高能量密度：10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性：~1% |
脈沖重復(fù)頻率：1-100Hz/1000Hz |
系統(tǒng)框架：大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
機器視覺：同軸照明/觀察，所見即所得 |
投影物鏡：紫外超長工作距離物鏡 |
X/Y軸電動平臺：100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1μm重復(fù)定位精度 |
Z軸電動平臺：25mm，±1μm重復(fù)定位精度 |
電動衰減器：10%-80%電動連續(xù)可調(diào) |
控制軟件：10%-80%電動連續(xù)可調(diào) |
總機：0316-6154030
